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該真空計是利用氣體熱傳導(dǎo)的恒溫皮拉尼真空計。為了控制真空設(shè)備，標準配備了數(shù)字輸出和設(shè)定點輸出，并且還實現(xiàn)了小型化，以有效利用設(shè)備的面板表面。 ULVAC愛發(fā)科 精品 真空計 電容式壓力計

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ULVAC愛發(fā)科 精品 大氣壓皮拉尼 真空計 用于太陽能電池、FPD、半導(dǎo)體和電子元件等各種設(shè)備的低真空區(qū)域的過程控制。 ?用于熔爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空區(qū)域的過程控制。 ?用于在線型、單晶圓型等具有多個工藝室的各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域的工藝控制。

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